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SECS

SECS是SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International，半導體設備與材料國際連盟）為半導體設備制定的通訊標準，所有半導體/太陽能/LCD/LED/機台設備都需要遵循此標準以提供對外的通訊介面。

 

HSMS

HSMS是High-Speed SECS Message Services，使用 TCP/IP通訊方式進行訊息交換的規範，也是為了取代早期 SECS-I (RS-232) 的通訊模式，進而提供高速先進的通訊能力。

GEM

SECS只是定義交換訊息的格式，並未定義訊息使用的時機，因此SEMI定了GEM (Generic Equipment Model，共用設備模型)做了三項改善：

  1. 共用設備使用SECS訊息。

  2. 訊息使用的時機及行為。

  3. 縮減各項資料項目的型態及列舉必需要有的資料項目。

使用GEM可以大幅減少設備供應商和工廠之間訂定通訊需求的時間，也可以減少設備入廠後的通訊驗證測試時間，同時也能提供功能強大的機台控制及資料收集能力，因此GEM 已是目前半導體廠設備必要的功能通訊。

SECS Driver

本產品SECS Driver為本公司自行開發，提供 DLL的方式供程式設計者自行開發，內建使用GEM 300 Library，可使用GEM，亦可以自訂NON-GEM的Stream Function。

SECS DRIVER